按下式計算:
質量濃度mg/m3=M氣體分子量/22.4*ppm數值*[273/(273+T氣體溫度)]*(Ba壓力/101325)
M為氣體分子量,ppm為測定的體積濃度值,T為溫度、Ba為壓力。
標準溫度標準壓力下:
mg/m3質量濃度=M氣體分子量/22.4*ppm數值
ppm數值=質量濃度mg/m3*22.4÷M氣體分子量
比如氟化氫的氣體分子量為20,采購的10ppm量程的HF換算為mg/m3如下:
HF: 10 (mg/m3)= 20 ÷ 22.4 * 10(ppm) ≈ 8.93(ppm)